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锂磷氧氮电解质薄膜制备与性能研究
引用本文:赵胜利,文九巴,杨涤心,傅正文.锂磷氧氮电解质薄膜制备与性能研究[J].功能材料,2005,36(7):1050-1052,1055.
作者姓名:赵胜利  文九巴  杨涤心  傅正文
作者单位:河南科技大学,材料学院,河南,洛阳,471003;复旦大学,激光所,上海,200433
基金项目:国家自然科学基金资助项目(20083001),河南科技大学人才科研基金资助项目(04015),河南科技大学青年科研基金资助项目(2004QN010)
摘    要:首次采用355nm脉冲激光沉积(PLD)法在N2压强26.6Pa、激光能量密度15J/cm2、靶-基片距离5cm、基片温度为室温条件下制备了室温离子电导率为1.6×10-6S/cm、厚度均匀、无针孔、无裂缝的非晶态LiPON电解质薄膜。考察了反应气氛压强、激光能量密度对LiPON薄膜电化学性能的影响,并利用台阶仪、XPS、EDX、SEM等分析方法对薄膜进行表征。

关 键 词:电解质  LiPON  薄膜  锂电池  PLD
文章编号:1001-9731(2005)07-1050-03

The properties and fabrication of lithium phosphorus oxynitride electrolyte thin films
ZHAO Sheng-li,WEN Jiu-ba,YANG Di-xin,FU Zheng-Wen.The properties and fabrication of lithium phosphorus oxynitride electrolyte thin films[J].Journal of Functional Materials,2005,36(7):1050-1052,1055.
Authors:ZHAO Sheng-li  WEN Jiu-ba  YANG Di-xin  FU Zheng-Wen
Affiliation:ZHAO Sheng-li~1,WEN Jiu-ba~1,YANG Di-xin~1,FU Zheng-wen~2
Abstract:
Keywords:electrolyte  LiPON  thin film  lithium battery  PLD  
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