以氮化硅镁作为生长助剂燃烧合成制备β-氮化硅棒晶 |
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摘 要: | 本发明涉及以氮化硅镁作为生长助剂燃烧合成制备β-Si3N4棒晶的方法,属于非氧化物陶瓷棒晶制备领域。其特征在于由商业硅粉和α-SiN粉按质量比为(9~5):(1~5)的比例混合,外加MgSiN2作为生长助剂,在1~10MPa的氮气中反应制备的。棒晶生长助剂选用新型氮化物氮化硅镁,其加入量为硅粉和α-Si3N4粉混合后总质量的0.5%~15%。在生产过程中,不需预先压块,
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关 键 词: | 助剂 制备 氮化硅 β-Si3N4 非氧化物陶瓷 混合 加入量 生长 压块 比例 |
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