| 用改进双延迟线法测量SAW相速度 |
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| 引用本文： | 熊军,公勋,商晓莉,王耀俊,章德.用改进双延迟线法测量SAW相速度[J].压电与声光,2009,31(2). |
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| 作者姓名： | 熊军 公勋 商晓莉 王耀俊 章德 |
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| 作者单位： | 南京大学,电子科学与工程系,近代声学教育部重点实验室,江苏,南京,210093 |
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| 摘 要： | 双延迟线法是测量声表面波(SAW)速度的一种优秀方法,其样品制备工艺成熟,测量和数据处理简单.从原理上消除了换能器的影响,能达到很高精度.主要测量误差源有中心频率和距离的测量误差两个.对此提出了两项改进措施,即对幅频响应数据进行数字滤波后再做插值,以减小中心频率的测量误差;结合光学显微镜大视野和扫描电子显微镜(SEM)高精度的优点,提高距离测量精度.在128°Y-X铌酸锂基片上进行了实验,测量精度达到数米每秒.
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| 关 键 词： | 双延迟线 声表面波(SAW)相速度 测量误差 |
Determination of SAW Phase Velocity by Improved Dual-delay-line Method |
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| XIONG Jun,GONG Xun,SHANG Xiao-li,WANG Yao-jun,ZHANG De.Determination of SAW Phase Velocity by Improved Dual-delay-line Method[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2009,31(2). |
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| Authors: | XIONG Jun GONG Xun SHANG Xiao-li WANG Yao-jun ZHANG De |
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