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| ZSH-1型自动砂轮划片机 | |
| 引用本文： | 高英,王纪春.ZSH-1型自动砂轮划片机[J].仪表技术与传感器,1983(3). |
| 作者姓名： | 高英 王纪春 |
| 作者单位： | 沈阳仪器仪表工艺研究所，沈阳仪器仪表工艺研究所 |
| 摘 要： | 该微型机控制的自动砂轮划片机主要用于半导体工业中,可对已成管芯的薄硅片进行切割。具有切割质量好、成品率高等优点。本文介绍了该机的结构、技术指标和使用情况及良好的经济效果。图3,表1。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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