离子注入对分子束外延Hg_(0.68)Cd_(0.32)Te远红外振动模的影响 |
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引用本文: | 姬荣斌,李标,方维政,王善力,杨建荣,何力.离子注入对分子束外延Hg_(0.68)Cd_(0.32)Te远红外振动模的影响[J].半导体学报,1999,20(7):569-872. |
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作者姓名: | 姬荣斌 李标 方维政 王善力 杨建荣 何力 |
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摘 要: | 我们对用分子束外延(MBE)技术生长出的Hg0.68Cd0.32Te薄膜进行了N离子注入并退火,分别得到了其室温喇曼散射谱及在不同温度下的远红外透射谱.喇曼散射谱可以观察到类HgTe的LO模的散射和TO模的散射,原生样品及离子注入样品在93cm-1附近有较弱的散射峰,经离子注入后该峰消失;远红外透射谱中分别可以观察到78cm-1(X)、86cm-1(I1)、93cm-1(LA)、104cm-1(Pd)以及121cm-1(TO2)、143cm-1(TO1)、156cm-1(LO1)等吸收峰,讨论了离子注入及
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