| SC—2A光栅检测闭环伺服控制系统动态特性分析 |
| |
| 引用本文： | 张国玉,张从周.SC—2A光栅检测闭环伺服控制系统动态特性分析[J].计测技术,1996(4):10-12. |
| |
| 作者姓名： | 张国玉 张从周 |
| |
| 作者单位： | 长春光学精密机械学院!吉林省长春市，130022，长春光学精密机械学院!吉林省长春市，130022，长春光学精密机械学院!吉林省长春市，130022，长春光学精密机械学院!吉林省长春市，130022 |
| |
| 摘 要： | 从提高系统定位精度出发，对SC—2A光栅检测闭环伺服控制系统的动态特性进行了理论分析，并给出了一种微机实时动态控制方法。
|
| 关 键 词： | 光栅 闭环控制 动态特性 伺服控制 |
Dynamic Performance Analysis of SC-2A Grating Measurement System with A Close-Loop Servo Controller |
| |
| Zhang Guoyu,Zhang Congzhou,Zhao Tiejun,Cao Weiguo.Dynamic Performance Analysis of SC-2A Grating Measurement System with A Close-Loop Servo Controller[J].Metrology & Measurement Technology,1996(4):10-12. |
| |
| Authors: | Zhang Guoyu Zhang Congzhou Zhao Tiejun Cao Weiguo |
| |
| Affiliation: | Zhang Guoyu; Zhang Congzhou; Zhao Tiejun; Cao Weiguo |
| |
| Abstract: | The dynamic performance analysis of SC-2A grating measurement system with a close -loop servo controller and a control method using microcomputer is described in this paper. |
| |
| Keywords: | Grating Close-loop Control Dynamic performance |
|
| 点击此处可从《计测技术》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《计测技术》下载全文 |
