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| 高分辨率光电尺寸检测系统研究 | |
| 作者姓名： | 张国玉 安志勇 |
| 作者单位： | 长春光学精密机械学院光电技术与工艺工程研究所!吉林省长春市,130022(张国玉,安志勇,曹维国),长春光学精密机械学院光电技术与工艺工程研究所!吉林省长春市(李成志) |
| 摘 要： | 论述了高分辨率光电尺寸检测系统的工作原理和系统总体结构,并给出了设计要点和提高系统分辨率的途径,本系统具有高速,高精度,非接触在线检测,测量结果直接数字显示和打印等特点。 |
| 关 键 词： | 分辨率 光电检测 系统 尺寸检测 |
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