| 高精密运动平台的重复控制 |
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| 引用本文： | 杜飞,吴运新.高精密运动平台的重复控制[J].现代制造工程,2008(11). |
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| 作者姓名： | 杜飞 吴运新 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目，上海市科委资助项目 |
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| 摘 要： | 为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,解决光刻机工作台宏动平台的控制问题,建立了步进扫描光刻机模拟减振试验平台宏动定位系统工作台伺服系统的数学模型,并根据该系统重复运动的特点,提出一种基于重复控制补偿的PID控制方式.运用MATLAB软件进行仿真试验,仿真结果表明与普通PID控制相比,基于重复控制补偿的PID控制器可以有效地减小跟踪误差,因而可以使系统有更好的控制效果.
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| 关 键 词： | 步进式扫描光刻机 工件台 数学模型 重复控制 |
Repetitive control for high accurate motion platform |
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| Du Fei,Wu Yun-xin.Repetitive control for high accurate motion platform[J].Modern Manufacturing Engineering,2008(11). |
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| Authors: | Du Fei Wu Yun-xin |
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