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| 空穴注入型CuPc二氧化氮气体传感器研究 | |
| 引用本文： | 王涛,蒋亚东,黄春华.空穴注入型CuPc二氧化氮气体传感器研究[J].仪器仪表学报,2003,24(Z2):177-178. |
| 作者姓名： | 王涛 蒋亚东 黄春华 |
| 作者单位： | 电子科技大学光电信息学院,成都,610054 |
| 摘 要： | 讨论了一种新型的基于空穴注入效应的电导型CuPc薄膜二氧化氮气体传感器,其器件结构为采用溅射工艺的ITO(InO、ZnO)作下电极,真空蒸发CuPc薄膜作为敏感功能层,上电极为AL叉指电极.这种CuPc传感器与传统的AlO3/CuPc/Al相比,电阻下降了3～4个数量级.同时讨论了该传感器的敏感特性. |
| 关 键 词： | 酞菁铜 氧化铟锡 空穴注入 敏感特性 |
CuPc Film Nitrogen Dioxide Gas Sensor Based on Hole Injection |
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