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| 混合式长波线列TDI红外探测器改进互连工艺研究 | |
| 作者姓名： | 沈悦 谢珩 张毓捷 |
| 作者单位： | 华北光电技术研究所,北京,100015;华北光电技术研究所,北京,100015;华北光电技术研究所,北京,100015 |
| 摘 要： | 根据目前混合式红外焦平面互连工艺以及对长波线列延时积分红外探测器产量增长的需求,结合现有的工艺设备能力,开发出"共片工艺",以最大限度地提高在互连工艺段的生产效率. |
| 关 键 词： | 长波红外探测器 倒装互连 共片工艺 |
| 文章编号： | 1001-5078（2007）12-1281-02 |
| 收稿时间： | 2007-08-23 |
| 修稿时间： | 2007-08-23 |
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