| TiO2薄膜紫外探测器的光电特性 |
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| 引用本文： | 甘勇,刘彩霞,张爽,薛海林,董玮,张歆东,邹博,吴凤清,徐宝琨,陈维友.TiO2薄膜紫外探测器的光电特性[J].半导体学报,2005,26(4). |
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| 作者姓名： | 甘勇 刘彩霞 张爽 薛海林 董玮 张歆东 邹博 吴凤清 徐宝琨 陈维友 |
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| 作者单位： | 1. 吉林大学集成光电子国家重点联合实验室,长春,130023
2. 吉林大学化学学院,长春,130023 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法(Sol-Gel),在Si衬底上生长了TiO2纳米薄膜,并用此材料制备了光电导型的TiO2薄膜紫外光探测器.通过测量探测器的光电流与照射光波长的关系,可以看出,TiO2探测器在紫外波段230～280nm有很明显的光响应,光电流谱线近乎平坦;在280nm处光响应出现明显下降,且跨度较大,直至360nm又再次趋于平坦.测量了250nm波长处的响应度和外加偏压的关系,发现响应度随外加偏压的增加而增加,5V时达到饱和.
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| 关 键 词： | TiO2薄膜 紫外光电导探测器 MSM |
Photocurrent Characteristics of Ultraviolet Photoconductive Detectors with TiO2 Film |
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| Gan Yong,Liu Caixia,Zhang Shuang,Xue Hailin,Dong Wei,Zhang Xindong,ZOU Bo,Wu Fengqing,Xu Baokun,Chen Weiyou.Photocurrent Characteristics of Ultraviolet Photoconductive Detectors with TiO2 Film[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(4). |
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| Authors: | Gan Yong Liu Caixia Zhang Shuang Xue Hailin Dong Wei Zhang Xindong ZOU Bo Wu Fengqing Xu Baokun Chen Weiyou |
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