| EIS型半导体生化传感器EI界面势的理论模拟 |
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| 引用本文： | 贾芸芳,牛文成,张福海,刘国华,俞梅.EIS型半导体生化传感器EI界面势的理论模拟[J].半导体学报,2005,26(11). |
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| 作者姓名： | 贾芸芳 牛文成 张福海 刘国华 俞梅 |
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| 作者单位： | 南开大学信息技术科学学院,微电子系,天津,300071 |
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| 摘 要： | 建立了较完整的适用于EIS(electrolyte insulator semiconductor)型生化传感器的EI界面势理论模型,在此基础上开发了EI界面的计算机辅助分析程序,对EI界面中双电层电势分布、带电格点密度、EI界面势进行了深入的定量分析,最后将EI界面势模拟结果与ISFET(ion sensitive field effect transistor)的实测结果进行了比较,进一步验证了文中的理论模型.
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| 关 键 词： | 半导体生化传感器 EI界面势模型 计算机辅助分析 |
Simulation of EI-Interface Voltage in an EIS-Type Semiconductor Biochemical Sensor |
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| Jia Yunfang,Niu Wencheng,Zhang Fuhai,Liu Guohua,Yu Mei.Simulation of EI-Interface Voltage in an EIS-Type Semiconductor Biochemical Sensor[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(11). |
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| Authors: | Jia Yunfang Niu Wencheng Zhang Fuhai Liu Guohua Yu Mei |
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