| 晶体管红外热像图的热谱分析方法 |
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| 引用本文： | 朱阳军,苗庆海,张兴华,卢烁今. 晶体管红外热像图的热谱分析方法[J]. 半导体学报, 2005, 26(7) |
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| 作者姓名： | 朱阳军 苗庆海 张兴华 卢烁今 |
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| 作者单位： | 山东大学物理与微电子学院,济南,250100 |
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| 摘 要： | ![]()
使用自编的分析软件,根据比色法对所摄取的晶体管红外热像图进行了热谱分析,给出了晶体管发射区热谱和发射区一维温度分布曲线.一维温度分布曲线给出了整个发射区的结温分布情况,并可直接读取发射区的峰值结温和最低结温,还可以计算出平均结温.晶体管热谱是表示晶体管结温不均匀性的一种与热像图不同的新方法.
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| 关 键 词： | 晶体管热谱 峰值结温 红外热像图 归一化面积 |
Thermal Spectrum Analysis Method for Infrared Thermogram of Transistors |
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| Zhu Yangjun,MIAO Qinghai,Zhang Xinghua,LU Shuojin. Thermal Spectrum Analysis Method for Infrared Thermogram of Transistors[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2005, 26(7) |
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| Authors: | Zhu Yangjun MIAO Qinghai Zhang Xinghua LU Shuojin |
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| Abstract: | ![]()
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