| 片上集成三电极体系微电极阵列的表征 |
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| 引用本文： | 吕尊实,周嘉,陈华,黄宜平,鲍敏杭.片上集成三电极体系微电极阵列的表征[J].微纳电子技术,2007,44(7):329-331. |
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| 作者姓名： | 吕尊实 周嘉 陈华 黄宜平 鲍敏杭 |
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| 作者单位： | 复旦大学,专用集成电路及系统国家重点实验室,微电子学系,上海,200433 |
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| 摘 要： | 设计制作了片上集成三电极体系微电极阵列。工作电极分为圆形和方形两种，电极特征尺寸为100-900μm，工作电极与对电极间距为50-200μm。利用循环伏安法，在氧化还原电位探针二茂铁甲醇的作用下，对各三电极微系统进行了电极性能表征，具体分析了工作电极的形状、大小、与对电极的间距对输出特性的影响，为片上集成三电极体系的微电极阵列的设计优化提供了实际依据。
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| 关 键 词： | 微电极 表征 循环伏安法 |
| 文章编号： | 1671-4776（2007）07/08-0329-03 |
| 修稿时间： | 2007-03-13 |
Characterization of on-Chip Three-Microelectrode-System Array |
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| L Zun-shi,ZHOU Jia,CHEN Hua,HUANG Yi-ping,BAO Min-hang.Characterization of on-Chip Three-Microelectrode-System Array[J].Micronanoelectronic Technology,2007,44(7):329-331. |
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| Authors: | L Zun-shi ZHOU Jia CHEN Hua HUANG Yi-ping BAO Min-hang |
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| Affiliation: | AS IC and System National Key Lab,Department o f Microelectronics ,Fudan University,Shanghai 200433, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microelectrode characterization cyclic voltammetry |
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