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国内外电子气体技术进展

引用本文：	梁国仑,申屠棠.国内外电子气体技术进展[J].化工新型材料,1991(9).

作者姓名：	梁国仑申屠棠

作者单位：	化工部光明化工研究所，化工部光明化工研究所

摘要：	本文综述了国外兆位集成电路制造用气体品种与纯度标准、MO源材料的开发、电子气体配套器件、电子气体技术进展。指出国内尚未开发出ULSI级气体,在纯化技术、气瓶及管线内表面处理技术、分析检测与安全技术特别是供气技术上与国外水平有一定差距。
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