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一种二维光栅干涉仪的研究
引用本文:赵博,晏磊,郝德阜.一种二维光栅干涉仪的研究[J].仪器仪表学报,2001,22(3):272-274.
作者姓名:赵博  晏磊  郝德阜
作者单位:1. 北京大学遥感与地理信息系统研究所
2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘    要:本文描述了一种以二维正交反射光栅为计量基准元件,以透射光栅为分光元件的二维光栅干涉仪,从研究光栅表面的光扰动出发,分析了这种干涉仪的原理及所用光栅间的匹配关系,通过实验分析了干涉仪的调整方法及主要误差,实验结果表明:这种新型二维光栅 的精密线值计量方面有着良好的应用前景。

关 键 词:正交衍射光栅  透射光栅  光栅干涉仪
修稿时间:2000年2月1日

Experimental Study About A Type of Gratings Interferometer
Zhao Bo,Yan Lei,Hao Defu.Experimental Study About A Type of Gratings Interferometer[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2001,22(3):272-274.
Authors:Zhao Bo  Yan Lei  Hao Defu
Affiliation:Zhao Bo 1Yan Lei 2Hao Defu 1
Abstract:A new kind of grating interferometers was discussed in this paper This interferometer's base element is a piece of reflection cross grating Its principle, adjustment, matching of gratings and the major errors were analysised Some advantages were found The experiment results show that it will be used widely
Keywords:Reflection cross  grating  Transmission  grating  Grating interferometer
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