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| 准分子激光合成晶态C3N4薄膜机理研究 | |
| 作者姓名： | 傅广生 于威 |
| 作者单位： | 河北大学物理系!保定，071002，河北大学物理系!保定，071002，河北大学物理系!保定，071002，河北大学物理系!保定，071002，河北大学物理系!保定，071002 |
| 摘 要： | 目前，科技工作者采用各种技术、方法试图合成晶态氮化碳（β-C3N4）材料，并在不同工艺条件下对氮化碳材料生长及表征进行了大量的研究．但由于对氮化碳薄膜生长过程缺乏系统的了解，对这种材料的生长规律的认识受到了限制．本工作对XeCI准分子激光溅射C靶并辅以氮气放电在不同工作气压和衬底温度下制备氮化碳薄膜过程进行了研究．采用拉曼光谱、X射线光电子能谱（XPS）、扫描电子显微镜、X射线衍射等手段分析了材料的性质，采用光学多道分析仪（OMA皿）对等离子体发射谱进行了分析，讨论了实验条件对材料键合特性的影响．实验中，Xe… |
| 关 键 词： | 晶态氮化碳 准分子激光 合成 薄膜生长 |
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