| PDP中Mg1-xCaxO复合介质保护膜结晶取向研究 |
| |
| 引用本文： | 夏星,郭滨刚,范玉锋,刘纯亮.PDP中Mg1-xCaxO复合介质保护膜结晶取向研究[J].真空科学与技术学报,2004,24(5):339-342. |
| |
| 作者姓名： | 夏星 郭滨刚 范玉锋 刘纯亮 |
| |
| 作者单位： | 西安交通大学电子物理与器件研究所,西安,710049 |
| |
| 基金项目： | 教育部科学技术研究项目 |
| |
| 摘 要： | 为了研究CaO的加入对MgO PDP介质保护膜晶面择优取向的影响,使用不同CaO含量的MgO CaO膜料,在不同的基底温度和沉积速率下进行电子束蒸发沉积,并对形成的Mg1-xCaxO膜进行了X射线衍射分析.结果表明,Ca含量越小,越容易形成〈111〉择优取向.在选取的所有基底温度和沉积速率下,纯MgO和Mg0.96Ca0.04O膜都形成了〈111〉晶面择优取向;Mg0.93Ca0.07O膜,获得最强的(111)衍射峰;而Mg0.9Ca0.1O膜中,在不同的工艺下,分别得到(111),(200)面以及无序多晶膜.通过X射线衍射分析还发现,在Mg1-xCaxO膜中,所有〈111〉择优取向的衍射峰2θ的位置比纯MgO向负方向移动0.2°～0.7°,而且x越大,这种偏移越大.
|
| 关 键 词： | 介质保护膜 电子束蒸发 X射线衍射 择优取向 |
| 文章编号： | 1672-7126(2004)05-0339-04 |
| 修稿时间： | 2003年11月20 |
Study on Preferred Orientation of Mg1-xCaxO Films in Plasma Display Panel |
| |
| Xia Xing ,Guo Bingang,Fan Yufeng and Liu Chunliang.Study on Preferred Orientation of Mg1-xCaxO Films in Plasma Display Panel[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2004,24(5):339-342. |
| |
| Authors: | Xia Xing Guo Bingang Fan Yufeng and Liu Chunliang |
| |
| Affiliation: | Xia Xing *,Guo Bingang,Fan Yufeng and Liu Chunliang |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | PDP |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
