| Ag-TiO2薄膜表面等离子体共振光谱特性研究 |
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| 引用本文： | 刘超,汪发美,吕靖薇,顾雪平,杨琳,牟海维.Ag-TiO2薄膜表面等离子体共振光谱特性研究[J].传感器与微系统,2016(3). |
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| 作者姓名： | 刘超 汪发美 吕靖薇 顾雪平 杨琳 牟海维 |
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| 作者单位： | 东北石油大学电子科学学院,黑龙江大庆,163318 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(51474069;51101027)，国家科技重大专项课题资助项目(2011ZX05020-006)，黑龙江省新世纪优秀人才支持计划资助项目(1253-NCET-002) |
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| 摘 要： | 以拓宽Ag膜波长调制型表面等离子体共振(SPR)传感器的工作波长区间,将TiO2膜沉积于Ag膜表面制成Ag-TiO2复合薄膜.利用数值计算方法对不同厚度Ag膜和As-TiO2复合膜波长调制型SPR光谱特性进行仿真研究.仿真结果表明:共振吸收峰显著依赖于Ag膜厚度;当保持Ag-TiO2复合膜厚度60 nm时,复合薄膜SPR波长随TiO2厚度的增大而向长波长方向移动,发现红移;与60 nm厚Ag膜共振波长相比,12 nm厚TiO2与48 rnm厚Ag组成的复合膜共振波长红移超过200 nm.
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| 关 键 词： | 表面等离子体共振 共振波长 红移 |
Research on spectral characteristic of surface plasmon resonance of Ag-TiO2 thin films |
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| LIU Chao,WANG Fa-mei,L Jing-wei,GU Xue-ping,YANG Lin,MU Hai-wei.Research on spectral characteristic of surface plasmon resonance of Ag-TiO2 thin films[J].Transducer and Microsystem Technology,2016(3). |
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| Authors: | LIU Chao WANG Fa-mei L Jing-wei GU Xue-ping YANG Lin MU Hai-wei |
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| Affiliation: | LIU Chao,WANG Fa-mei,L(U) Jing-wei,GU Xue-ping,YANG Lin,MU Hai-wei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | surface plasmon resonance(SPR) resonant wavelength red-shift |
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