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杂志ISSN号
激光多普勒效应回转体表面轮廓测量系统
引用本文:
杜振辉,贺顺忠,蒋诚志,吕丽娜.激光多普勒效应回转体表面轮廓测量系统[J].光电子.激光,2003,14(9):977-980.
作者姓名:
杜振辉
贺顺忠
蒋诚志
吕丽娜
作者单位:
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072
摘 要:
提出一种基于激光多普勒效应的回转体表面轮廓测量系统。散射光的多普勒信号强度、信噪比是测量的重要参量,为此研究了多普勒差动方法、锁相环(PLL)频率跟踪器等技术,设计出差动纵向多普勒光路、频率跟踪特性良好的锁相环电路、精密旋转进给系统。实现了测量分辨率10μm,最大相对误差1.0%。
关 键 词:
激光多普勒效应
回转体
表面轮廓测量
锁相环频率跟踪器
精密旋转进给系统
文章编号:
1005-0086(2003)09-0977-04
修稿时间:
2003年4月4日
A Profile Measuring System of Rotation Body Using Laser Doppler Effect
Abstract:
Keywords:
Doppler effect
rotation body
profile measurement
PLL frequency tracker
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