高精度高稳定性耦合台 |
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引用本文: | 廖宗素.高精度高稳定性耦合台[J].半导体光电,1992,13(1):83-84. |
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作者姓名: | 廖宗素 |
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作者单位: | 重庆光电技术研究所 重庆永川 |
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摘 要: | 1 引言半导体光电器件的耦合质量对保证器件的参数性能,提高器件生产的成品率有十分重要的意义。为了提高器件在耦合中的成品率、解决耦合过程中移位问题,我们自制了一台精度高,稳定性好的耦合台。实验证明,用此耦合台耦合的器件几乎不产生移位,大大提高了器件的耦合成品率,为探测器件的批量生产开辟了一个良好的前景。
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关 键 词: | 半导体 光电器件 耦合台 耦合 |
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