| 硼碳氮薄膜的脉冲激光沉积及其光学性能 |
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| 引用本文： | 杨琼,王传彬,章嵩,张东明,沈强,张联盟.硼碳氮薄膜的脉冲激光沉积及其光学性能[J].功能材料与器件学报,2010,16(4). |
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| 作者姓名： | 杨琼 王传彬 章嵩 张东明 沈强 张联盟 |
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| 作者单位： | 武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室,武汉,430070 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 采用脉冲激光沉积技术,在Si(100)和石英基片上制备了硼碳氮薄膜(BCN)。利用X射线衍射(XRD),傅里叶变换红外光谱(FTIR)、X射线光电子能谱(XPS)和紫外-可见分光光度计对BCN薄膜进行了表征,研究了激光能量密度对BCN薄膜沉积速率、组分、结构和光学性能的影响。FTIR和XPS分析结果表明BCN薄膜中包含B-C,C-N和N-B化学键,说明实现了B、C和N的原子级化合。当激光能量密度从1 J/cm2增加到6 J/cm2时,BCN薄膜的沉积速率加快,N含量由7.2%增加到15%,光学禁带宽度(Eg)从4.02 eV降低到3.82 eV,Eg的降低主要与BCN薄膜中碳含量的增加有关。
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| 关 键 词： | 硼碳氮薄膜 脉冲激光沉积 成分 光学性能 |
Pulsed laser deposition and optical properties of BCN thin films |
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| YANG Qiong,WANG Chuan-bin,ZHANG Song,ZHANG Dong-ming,SHEN Qiang,ZHANG Lian-meng.Pulsed laser deposition and optical properties of BCN thin films[J].Journal of Functional Materials and Devices,2010,16(4). |
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| Authors: | YANG Qiong WANG Chuan-bin ZHANG Song ZHANG Dong-ming SHEN Qiang ZHANG Lian-meng |
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