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| 基于石墨烯压阻效应的宽量程MEMS压力传感器设计 | |
| 引用本文： | 朱泽华,王俊强,刘小飞,齐越,武晨阳,李孟委.基于石墨烯压阻效应的宽量程MEMS压力传感器设计[J].传感器与微系统,2022(4):66-69. |
| 作者姓名： | 朱泽华 王俊强 刘小飞 齐越 武晨阳 李孟委 |
| 摘 要： | 针对传统悬浮式石墨烯压力传感器存在量程小、体积大、非线性度高等问题,设计了一种膜—岛结构的宽量程石墨烯MEMS压力传感器.使用COMSOL有限元仿真软件和噪声分析法对弹性膜片及石墨烯敏感单元尺寸进行优化设计.结果表明:在0～25 MPa范围,传感器最大应变为0.314％,固有频率高达1.3534 MHz;采用TSV垂直... |
| 关 键 词： | 石墨烯 压阻效应 宽量程 微机电系统 压力传感器 |