| 二氧化硅平面波导集成光开关器件研究 |
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| 引用本文： | 郭松,袁硕,陈益姝,玄洪文,冯吉军.二氧化硅平面波导集成光开关器件研究[J].光学仪器,2024,46(2):69-76. |
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| 作者姓名： | 郭松 袁硕 陈益姝 玄洪文 冯吉军 |
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| 作者单位： | 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院，上海 200093;广东大湾区空天信息研究院，广东 广州 510535 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划(2022YFE0107400)；国家自然科学基金(11774235，61705130，11933005)；上海市高校特聘教授(东方学者)岗位计划（GZ2020015） |
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| 摘 要： | 基于二氧化硅平面光波导平台，设计并制作了一种多模干涉马赫曾德型的低功耗热光开关。该器件结合了多模干涉耦合器的稳定性及二氧化硅波导和热光开关的低损耗等优势。经仿真，对器件参数进行了优化，并讨论了金属层与波导的间距对传输光强及功耗的影响。测试结果表明，该器件的结构稳定，偏振依赖小，插入损耗低于2 dB，能实现开关的转换，功耗为450 mW左右，开关响应时间为103 μs和113 μs，在1 564 nm工作波长下消光比超过16 dB，尺寸为2.30 cm×0.25 mm。该器件不仅与互补金属氧化物半导体工艺相兼容，同时与光纤之间也有较好的兼容性。二氧化硅波导光开关器件具有成本低，产量大，性能稳定的优势，能给光通信及光计算的未来发展提供可靠的基础。
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| 关 键 词： | 平面光波导 多模干涉器 热光开关 光通信 光计算 |
| 收稿时间： | 2023/3/12 0:00:00 |
Research on silicon dioxide planar waveguide integrated optical switch devices |
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| GUO Song,YUAN Shuo,CHEN Yishu,XUAN Hongwen,FENG Jijun.Research on silicon dioxide planar waveguide integrated optical switch devices[J].Optical Instruments,2024,46(2):69-76. |
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| Authors: | GUO Song YUAN Shuo CHEN Yishu XUAN Hongwen FENG Jijun |
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| Affiliation: | School of Optical-Electrical and Computer Engineering, University of Shanghai for Science and Technology, Shanghai 200093, China;Greater Bay Area Branch of Aerospace Information Research Institute, Chinese Academy of Sciences, Guangzhou 510535, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | planar optical waveguide multimode interferometer thermo-optic switch optical communication optical computing |
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