| 双光子激光三维微细加工及信息存储技术 |
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| 引用本文： | 袁大军,周拥军,蒋中伟,黄文浩,夏安东,褚家如,刘允萍. 双光子激光三维微细加工及信息存储技术[J]. 微纳电子技术, 2003, 40(7): 173-176 |
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| 作者姓名： | 袁大军 周拥军 蒋中伟 黄文浩 夏安东 褚家如 刘允萍 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230026
2. 中国科学院分子反应动力学国家重点实验室,北京,100080 |
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| 基金项目： | 自然科学基金(50275140)和中科院百人计划资助 |
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| 摘 要： | 利用具有极高脉冲光强的飞秒激光器和对光束进行强聚焦的显微镜装置可以制造具有亚微米精度的三维微器件以及进行三维高密度信息存储。文本介绍了自行开发的双光子微细加工系统以及三维高密度信息存储系统，以及用该系统进行三维光学微细加工及三维光学信息存储的实验情况，给出了部分利用已建立的加工系统所获得的初步实验结果。
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| 关 键 词： | 双光子激光 三维微细加工 信息存储技术 飞秒激光器 电子器件 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0173-04 |
| 修稿时间： | 2003-05-15 |
Two-photon laser three-dimensional microfabrication and three-dimensional optical data storage technology |
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