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| 分子束外延的计算机控制 | |
| 引用本文： | 章怡,蒋最敏,卢学坤.分子束外延的计算机控制[J].真空科学与技术学报,1995(4). |
| 作者姓名： | 章怡 蒋最敏 卢学坤 |
| 作者单位： | 复旦大学应用表面物理国家重点实验室!上海200433 |
| 摘 要： | 报导了一种专门为MBE生长而设计的计算机控制系统，改善并扩展了原控制单元SentinelⅢ的功能，并展示了由它控制生长的各种SiGe结构。 |
| 关 键 词： | 分子束外延（MBE） 计算机 控制生长 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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