| 气体微流量标准装置的研制 |
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| 引用本文： | 李旺奎,张涤新,刘强,吕时良,李得天,孟扬.气体微流量标准装置的研制[J].真空科学与技术学报,1997(3). |
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| 作者姓名： | 李旺奎 张涤新 刘强 吕时良 李得天 孟扬 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所!兰州730000 |
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| 摘 要： | 气体微流量标准是校准气体微流量的一种装置，可用于传递型和应用型参考漏孔及气体微流量计的校准。它由恒压式微流量计、流量校准系统、待校流量引入系统和测量与控制系统四部分组成。恒压式微流量计的变容室采用了活塞液压驱动波纹管结构，活塞的平动由恒力矩测速电机驱动导轨平动机构完成，活塞的位移用精密光栅尺测量。在流量测量过程中，测量与控制系统将变容室和参考室之间的压力差控制在工作压力值的0．01％之内。该标准装置可采用直接测量法和比较测量法对气体微流量进行校准，其量程为1．71～1．22×10－5PaL／S，不确定度＜2％。
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| 关 键 词： | 气体流量 漏率校准 真空标准 |
A Gas Flow Standard Apparatus |
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| Li Wangkui,Zhang Dixin,Liu Qiang, Lu Shiliang,Li Detian, Meng Yang.A Gas Flow Standard Apparatus[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,1997(3). |
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| Authors: | Li Wangkui Zhang Dixin Liu Qiang Lu Shiliang Li Detian Meng Yang |
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| Keywords: | Gas flow Leak calibration Vacuum Standard |
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