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| LC—13型强流氧离子注入机 | |
| 引用本文： | 刘湘德.LC—13型强流氧离子注入机[J].LSI制造与测试,1996,17(6):12-13. |
| 作者姓名： | 刘湘德 |
| 摘 要： | 强流氧离子注入机是用于研制开发ＳＩＭＯＸ材料所需的关键设备。该项目的研制具有一定的难度，在国内尚属首例。本文描述了ＬＣ－１３型强流氧离子注入机主要性能指标及技术难点。 |
| 关 键 词： | 离子注入 氧离子 注入机 |
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