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| 硅化铂肖特基势垒红外电荷耦合器件的研制技术 | |
| 引用本文： | 程开富.硅化铂肖特基势垒红外电荷耦合器件的研制技术[J].光电子技术,1987(4). |
| 作者姓名： | 程开富 |
| 作者单位： | 重庆光电技术研究所 |
| 摘 要： | 本文仅对硅化铂肖特基势垒红外电荷耦合器件(PtSi-SBIRCCD)的结构、工艺及提高性能的途径作一综合描述。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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