| GaAs/AlGaAs太赫兹量子级联激光器的热分析 |
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| 引用本文： | 张颖娟,沈昌乐,王雪敏. GaAs/AlGaAs太赫兹量子级联激光器的热分析[J]. 太赫兹科学与电子信息学报, 2019, 17(2): 184-188 |
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| 作者姓名： | 张颖娟 沈昌乐 王雪敏 |
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| 作者单位： | Research Center of Laser Fusion，China Academy of Engineering Physics，Mianyang Sichuan 621999，China,Research Center of Laser Fusion，China Academy of Engineering Physics，Mianyang Sichuan 621999，China and Research Center of Laser Fusion，China Academy of Engineering Physics，Mianyang Sichuan 621999，China |
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| 基金项目： | 国家科技部重大仪器设备开发专项资助项目(2011YQ130018) |
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| 摘 要： | ![]()
为研究太赫兹量子级联激光器(THz QCLs)中的热传输及有效散热方法，建立了二维/三维有限元热分析模型，模拟计算了GaAs/AlGaAs THz QCLs低温工作时的温度及热流分布；并讨论了源区结构参数、热沉材料及散热膜层对器件热传输的影响规律。研究结果表明，器件源区温度水平方向分布较均匀，垂直方向温差大，源区热量主要依靠热沉导出；减小源区厚度、增加腔长与减小脊宽均有利于促进热传导并降低源区温度；在器件顶部增加AlN薄膜具有显著的辅助散热效果，当薄膜厚度大于8 μm时，源区温降趋于缓慢。
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| 关 键 词： | 太赫兹量子级联激光器；有限元；热分析；源区温度 |
| 收稿时间： | 2018-10-25 |
| 修稿时间： | 2018-12-30 |
Thermal analysis of GaAs/AlGaAs terahertz quantum cascade lasers |
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| ZHANG Yingjuan,SHEN Changle and WANG Xuemin. Thermal analysis of GaAs/AlGaAs terahertz quantum cascade lasers[J]. Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology, 2019, 17(2): 184-188 |
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| Authors: | ZHANG Yingjuan SHEN Changle WANG Xuemin |
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| Abstract: | ![]()
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