| 硅微机械谐振传感器稳幅式真空计的研究 |
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| 引用本文： | 金心宇,张昱.硅微机械谐振传感器稳幅式真空计的研究[J].仪表技术与传感器,1999(8):14-16. |
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| 作者姓名： | 金心宇 张昱 |
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| 作者单位： | 浙江大学信息与电子工程学系 |
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| 摘 要： | 文中介绍硅微机械谐振真空传感器的特点及配套研制的真空计。利用恒定振幅闭环测控电路方式，使整机具有良好的灵敏度和可靠性。真空度测量范围接近１０２～１０－１Ｐａ，测量响应速度为十几毫秒。
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| 关 键 词： | 硅微机械谐振 真空传感器 闭环测控 |
Study of Stable Amplitude Type Vacuum Meter with Silicon Micromachining Resonance Sensor |
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| Jin Xinyu,Zhang Yu,Zhou Qimin,Wang Yuelin.Study of Stable Amplitude Type Vacuum Meter with Silicon Micromachining Resonance Sensor[J].Instrument Technique and Sensor,1999(8):14-16. |
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| Authors: | Jin Xinyu Zhang Yu Zhou Qimin Wang Yuelin |
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| Affiliation: | Jin Xinyu,Zhang Yu,Zhou Qimin,Wang Yuelin Department of Information and Electronic Engineering,Zhejiang University,Hangzhou 310027 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Silicon Micromachining Resonance Vacuum Sensor Closed Loop Measurement and Control |
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