| 一种基于基板缺陷的共面波导电磁带隙结构 |
| |
| 引用本文： | 盆天玉,李凌云,孙浩. 一种基于基板缺陷的共面波导电磁带隙结构[J]. 半导体光电, 2015, 36(6): 918-921 |
| |
| 作者姓名： | 盆天玉 李凌云 孙浩 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050 |
| |
| 基金项目： | 上海市科委基础研究重点项目（14JC1407500） |
| |
| 摘 要： | ![]()
提出了一种通过湿法腐蚀实现的基板缺陷共面波导电磁带隙结构,并进行了建模仿真、加工和测试.重点研究了基板缺陷结构与传统金属缺陷结构的差异,以及采用湿法腐蚀工艺的优势.实验结果显示:新结构具有明显的电磁带隙特性;与干法刻蚀工艺相比,采用湿法腐蚀工艺加工可以获得更宽的阻带范围和更强的阻带抑制.该结构完整保留了50 Ω共面波导的信号线和接地板金属,可以与传统的金属缺陷结构结合,以获得性能更好的器件.
|
| 关 键 词： | 电磁带隙 基板缺陷 湿法腐蚀 砷化镓 共面波导 |
| 收稿时间： | 2015-03-24 |
An EBG Structure Based on Substrate-Defected Coplanar Waveguide |
| |
| Abstract: | ![]()
|
| |
| Keywords: | electromagnetic band-gap defected-substrate coplanar waveguide GaAs coplanar waveguide |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《半导体光电》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《半导体光电》下载全文 |
|
