| a-SiCdTe∶H薄膜做液晶光阀光敏层的光学特性研究 |
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| 引用本文： | 连雪艳,蒋向东,王继岷,刘韦颖,伍海峰.a-SiCdTe∶H薄膜做液晶光阀光敏层的光学特性研究[J].半导体光电,2015,36(6):939-941,945. |
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| 作者姓名： | 连雪艳 蒋向东 王继岷 刘韦颖 伍海峰 |
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| 作者单位： | 电子科技大学 光电信息学院,成都,610054;电子科技大学 光电信息学院,成都,610054;电子科技大学 光电信息学院,成都,610054;电子科技大学 光电信息学院,成都,610054;电子科技大学 光电信息学院,成都,610054 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（51372032） |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法制备了用于液晶光阀光敏层的a-Si1-x(CdTe)x∶H薄膜.研究了CdTe含量对氢化非晶硅薄膜光学性能的影响.采用扫描电镜(SEM)、X光电子能谱(XPS)、椭偏仪等测试手段对薄膜的表面形貌、成分和光学性能进行了表征.结果表明,薄膜的折射率和吸收系数均随x值的增大而增大;而光学带隙E.pt随x值的增大从2.01 eV降到1.75 eV.薄膜在可见光范围内透过率随着x值的增大而有所降低,且吸收边发生红移.
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| 关 键 词： | 射频磁控溅射 a-SiCdTe H薄膜 光学带隙 |
| 收稿时间： | 3/9/2015 12:00:00 AM |
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