| 过滤阴极真空电弧法制备四面体非晶碳薄膜 |
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| 引用本文： | 韩杰才,朱嘉琦,孟松鹤. 过滤阴极真空电弧法制备四面体非晶碳薄膜[J]. 功能材料与器件学报, 2003, 9(2): 118-122 |
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| 作者姓名： | 韩杰才 朱嘉琦 孟松鹤 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学复合材料研究所,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学复合材料研究所,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学复合材料研究所,哈尔滨,150001 |
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| 基金项目： | “十五”国家重点研究计划资助(No:0241312146) |
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| 摘 要： | 利用离面双弯曲过滤阴极其空电弧沉积系统,在Ф200mm单晶硅片上制备四面体非晶碳薄膜。利用Dectek3型表面轮廓仪检验膜厚均匀性(小于5％),并利用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、激光拉曼光谱(Raman)、X射线光电子谱(XPS)以及纳米压痕(Nano—Indenter)仪器测试薄膜的性能和结构。结果表明：试验制备的薄膜是四面体非晶碳薄膜,其中sp^3键含量高达80％以上,薄膜表面纯净,几乎没有大颗粒的污染,表面粗糙度(Rq)小于0．3nm(取样面积1μm^2),薄膜硬度可达50GPa,杨氏弹性模量高于550GPa。
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| 关 键 词： | 过滤阴极真空电弧 四面体非晶碳 拉曼光谱 X射线光电子谱 纳米压入仪 |
| 文章编号： | 1007-4252(2003)02-0118-15 |
| 修稿时间： | 2002-09-26 |
Tetrahedral amorphous carbon films deposited by filtered cathodic vacuum arc technology |
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| HAN Jie-cai,ZHU Jia-qi,MENG Song-he. Tetrahedral amorphous carbon films deposited by filtered cathodic vacuum arc technology[J]. Journal of Functional Materials and Devices, 2003, 9(2): 118-122 |
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| Authors: | HAN Jie-cai ZHU Jia-qi MENG Song-he |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | filtered cathodic vacuum arc (FCVA) tetrahedral amorphous carbon (Ta-C) Raman spectroscopy x-ray photoelectron spectroscopy (XPS) nano-indenter |
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