| 非晶TiO2薄膜激光晶化 |
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| 引用本文： | 张凯舒,王存山,庞宏杰,王丽阁.非晶TiO2薄膜激光晶化[J].应用激光,2007,27(2):118-120. |
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| 作者姓名： | 张凯舒 王存山 庞宏杰 王丽阁 |
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| 作者单位： | 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,辽宁,大连,116024 |
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| 摘 要： | 以中频孪生非平衡磁控溅射沉积设备制备的非晶氧化钛薄膜为前驱体,采用激光晶化技术实现了从非晶氧化钛到纳米氧化钛的相变过程。研究结果表明,在所选取的激光功率范围内,晶化氧化钛薄膜主要是由纳米尺度的锐钛矿和金红石所组成。随着激光功率的增大,晶化薄膜中金红石相的含量逐渐增多,晶粒尺寸逐渐增大,硬度、弹性模量及耐磨性逐渐提高。
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| 关 键 词： | 激光晶化 TiO2薄膜 组织 性能 |
| 收稿时间： | 2007/3/1 |
| 修稿时间： | 2007年3月1日 |
Laser Crystallization of Amorphous TiO2 Thin Film |
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| Zhang Kaishu,Wang Cunshan,Pang Hongjie,Wang Lige.Laser Crystallization of Amorphous TiO2 Thin Film[J].Applied Laser,2007,27(2):118-120. |
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| Authors: | Zhang Kaishu Wang Cunshan Pang Hongjie Wang Lige |
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| Abstract: | The amorphous TiO2 thin film,as a precursor,was deposited by mid-frequency unbalance dual-targets magnetron sputtering system on 304 stainless steel,and then the phase transition from amorphous to nanocrystalline phase was performed by laser crystallization.The results show that the laser crystallized TiO2 thin film mainly consists of anatase and rutile phases with diameter of nanometer.With the increasing of laser power,the content of rutile phase in the laser crystallized TiO2 thin film increases,the grain size enlarges,the hardness,Young's modulus,and wear resistance increase. |
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| Keywords: | Laser crystallizatiuon TiO2 thin film microstructure property |
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