| 三自由度气浮平面电机非线性运动控制研究 |
| |
| 引用本文： | 余东东,杨开明,朱煜,李鑫,崔乐卿.三自由度气浮平面电机非线性运动控制研究[J].中国电机工程学报,2012,32(Z1):236-241. |
| |
| 作者姓名： | 余东东 杨开明 朱煜 李鑫 崔乐卿 |
| |
| 作者单位： | 清华大学摩擦学国家重点实验室,北京市海淀区,100084 |
| |
| 基金项目： | 基金项目:国家重点基础研究发展计划项目(973项目)(2009CB724205)~~ |
| |
| 摘 要： | 长行程多自由度气浮平面电机广泛应用于高精度场合,如半导体制造装备、超精密仪器等.但气浮平面电机存在系统噪声大、易受外界干扰的问题,采用高增益线性控制器可有效抑制低频干扰,但会放大系统噪声.针对上述问题,为进一步提高运动与定位精度,提出一种基于轨迹跟踪误差幅值的变增益非线性控制算法,并采用扫描函数法证明所提方法的稳定性.当误差值大于阈值时,利用较大的附加增益以消除低频误差；反之,利用小增益以避免放大高频系统噪声.轨迹跟踪实验结果表明,相对于线性控制算法,非线性控制算法作用下跟踪误差小于1μm,有效提升了系统的轨迹跟踪与定位性能,在增强系统抑制低频干扰能力的同时降低了对噪声的敏感性.
|
| 关 键 词： | 平面电机 低频扰动 非线性控制 轨迹跟踪 噪声抑制 |
Study of Planar Motor Motion Control Based on Nonlinear Feedback |
| |
| YU Dongdong
,
YANG Kaiming
,
ZHU Yu
,
LI Xin
,
CUI Leqing.Study of Planar Motor Motion Control Based on Nonlinear Feedback[J].Proceedings of the CSEE,2012,32(Z1):236-241. |
| |
| Authors: | YU Dongdong YANG Kaiming ZHU Yu LI Xin CUI Leqing |
| |
| Affiliation: | (The State Key Laboratory of Tribology(Tsinghua University),Haidian District,Beijing 100084,China) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
