| 极间距对PEMSIP法高速钢基体TiN涂层的影响 |
| |
| 引用本文： | 王玉魁 王传思. 极间距对PEMSIP法高速钢基体TiN涂层的影响[J]. 表面技术, 1995, 24(1): 9-13 |
| |
| 作者姓名： | 王玉魁 王传思 |
| |
| 作者单位： | 大连理工大学 |
| |
| 摘 要： | 应用χ射线衍射分析研究了极间距对ＰＥＭＳＩＰ法ＴｉＮ涂层相互组成的影响，结果表明，随着极间距增加，涂层相组成朝着富氮相及其含量增加的方向发展，变化趋势为：（αＴｉ＋Ｔｉ２Ｎ＋ＴｉＮ）→（Ｔｉ２Ｎ＋ＴｉＮ）→ＴｉＮ。极间距对ＴｉＮ涂层硬度的影响是由其影响涂层相组成而引起的，其中，由Ｔｉ２Ｎ和ＴｉＮ两相组成的涂层硬度最高。
|
| 关 键 词： | 等离子体 磁控溅射 氮化钛 涂层 极间距 钢 |
The Influence of the Substrata-to-Target Distance on TiN Coating Deposited on the Matrix of HSS by Plasma Enhanced Magnetron Sputtering |
| |
| Wang Yukui,Wang Chuansi,Han Huimin,Gao Lusi,Xu weiping. The Influence of the Substrata-to-Target Distance on TiN Coating Deposited on the Matrix of HSS by Plasma Enhanced Magnetron Sputtering[J]. Surface Technology, 1995, 24(1): 9-13 |
| |
| Authors: | Wang Yukui Wang Chuansi Han Huimin Gao Lusi Xu weiping |
| |
| Affiliation: | Dalian University of Technology |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | plasma sputtering titanium nitride ion plating |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
