| 一种新型大尺寸长度校准装置的研制 |
| |
| 引用本文： | 王继虎,马骊群,何小妹,曹铁泽,熊昌友.一种新型大尺寸长度校准装置的研制[J].计量学报,2006,27(Z1):92-95. |
| |
| 作者姓名： | 王继虎 马骊群 何小妹 曹铁泽 熊昌友 |
| |
| 作者单位： | 北京长城计量测试技术研究所,北京,100095 |
| |
| 摘 要： | 介绍了一种新型的大尺寸长度校准装置,该装置解决了激光干涉仪等高精度大尺寸长度测量仪器的实验室校准与溯源问题.通过采用三路相干光进行测长,根据两辅助光路与主光路的测长偏差计算阿贝角,实现了阿贝误差的实时补偿.利用标准双频激光干涉仪测试了阿贝误差的补偿精度,35 m测量范围内的比对误差小于±3μm.测量精度达到了单光路同轴测量的水平.
|
| 关 键 词： | 计量学 大尺寸测量 激光干涉仪 校准 阿贝误差补偿 |
| 文章编号： | 1000-1158(2006)3A-0092-04 |
| 修稿时间： | 2006年6月9日 |
A Novel Calibration System for Large Dimension Measuring Instruments |
| |
| WANG Ji-hu,MA Li-qun,HE Xiao-mei,CAO Tie-ze,XIONG Chang-you.A Novel Calibration System for Large Dimension Measuring Instruments[J].Acta Metrologica Sinica,2006,27(Z1):92-95. |
| |
| Authors: | WANG Ji-hu MA Li-qun HE Xiao-mei CAO Tie-ze XIONG Chang-you |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
