| 有机发光二极管显示器的制造工艺 |
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| 引用本文： | 张凤翙.有机发光二极管显示器的制造工艺[J].真空电子技术,2003(3):67-69. |
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| 作者姓名： | 张凤翙 |
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| 作者单位： | 安阳电子管厂,河南,安阳,455000 |
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| 摘 要： | 有机发光二极管显示器的膜层制造工艺可划分为湿法和干法两种类型。本文仅就应用真空技术的角度，描述了有机EL元件制造工艺和有机EL生产系统。
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| 关 键 词： | 有机EL元件 薄膜 真空技术 膜层制造工艺 有机发光二极管显示器 |
| 文章编号： | 1002-8935(2003)03-0067-03 |
| 修稿时间： | 2002年6月14日 |
Organic Light Emitting Diode Display Manufacturing Technology |
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| ZHANG Feng-hui.Organic Light Emitting Diode Display Manufacturing Technology[J].Vacuum Electronics,2003(3):67-69. |
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| Authors: | ZHANG Feng-hui |
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| Abstract: | The manufacturing technology necessary for fabricating organic light emitting diode display can be divided into two types:the wet and dry processes.The manufacturing processes and production systems for organic EL elements are described at the viewpoint of the application of vacuum technology. |
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| Keywords: | Organic EL element Thin film Vacuum technology |
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