| 电子束真空辐射固化技术基础研究 |
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| 引用本文： | 孔祥东,孙晓军,张玉林,宋会英.电子束真空辐射固化技术基础研究[J].微细加工技术,2004(3):10-13,18. |
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| 作者姓名： | 孔祥东 孙晓军 张玉林 宋会英 |
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| 作者单位： | 山东大学,控制学院,电子束研究所,济南,250061 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90307003)，山东省自然科学基金资助项目(Y2003G03) |
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| 摘 要： | 提出了电子束真空辐射固化技术新概念，并对该技术的固化机理等进行了阐述。通过对液态低聚物辐射固化条件和SDS-Ⅱ型曝光机的加速电压、曝光剂量等曝光参数的分析研究，得出SDS-Ⅱ型曝光机可以用于液态低聚物辐射固化的结论。在此基础上使用SDS-Ⅱ型曝光机在20kV的加速电压、2μC／em^2的曝光剂量下，对经真空挥发处理过的三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(TMPTA)液态低聚物进行了曝光试验，得到了固化结构。基本上证明了电子束真空辐射固化液态低聚物的可行性，为微机电三维微结构的加工提供了一种新方法。
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| 关 键 词： | 低聚物 辐射固化 电子束 真空 |
| 文章编号： | 1003-8213(2004)03-0010-04 |
Study on Electron Beam Curing in Vacuum |
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| KONG Xiang-dong,SUN Xiao-jun,ZHANG Yu-lin,SONG Hui-ying.Study on Electron Beam Curing in Vacuum[J].Microfabrication Technology,2004(3):10-13,18. |
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| Authors: | KONG Xiang-dong SUN Xiao-jun ZHANG Yu-lin SONG Hui-ying |
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| Abstract: | A novel technology, electron beam curing in vacuum, and its curing mechanism are presented. Based on the studies of oligomer curing conditions and accelerating voltage, exposure dose of SDS-II electron beam exposure system, a conclusion is achieved that SDS-II is suitable for curing oligomer. An experiment has been made to cure oligomer Trihydroxy Methyl Propane Tri Acrylate(TMPTA) in SDS-II at (20 kV) and 2 _C/cm~2 dose. A cured structure was made. This shows that electron beam curing of oligomer in vacuum is feasible. |
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| Keywords: | oligomer radiation curing electron beam vacuum |
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