| 基于石英玻璃基底湿敏元件的模型比较研究 |
| |
| 引用本文： | 冯冬梅,李巴津,宋丽丽.基于石英玻璃基底湿敏元件的模型比较研究[J].传感器与微系统,2010,29(12). |
| |
| 作者姓名： | 冯冬梅 李巴津 宋丽丽 |
| |
| 基金项目： | 内蒙古自治区自然科学基金 |
| |
| 摘 要： | 对基于石英玻璃基底制备的TiO2-20%SnO2薄膜湿敏元件进行复阻抗分析,采用Origin7.5软件绘出不同湿度下的复阻抗图.在Zsimpwin软件环境下,利用3种不同的等效电路模型对该湿敏元件的复阻抗图进行拟合和误差分析比较.研究表明:引入Q元件的等效电路模型是合理的,该等效电路模型便于对薄膜离子的扩散与感湿机理进行分析.
|
| 关 键 词： | 湿敏元件 等效电路模型 复阻抗图 Q元件 |
The comparing study on the model of humidity element based on quartz glass substrate |
| |
| FENG Dong-mei,LI Ba-jin,SONG Li-li.The comparing study on the model of humidity element based on quartz glass substrate[J].Transducer and Microsystem Technology,2010,29(12). |
| |
| Authors: | FENG Dong-mei LI Ba-jin SONG Li-li |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
