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| MEMS-SAW陀螺仪研究 | |
| 引用本文： | 李泉溪,银兵. MEMS-SAW陀螺仪研究[J]. 传感器与微系统, 2010, 29(11) |
| 作者姓名： | 李泉溪 银兵 |
| 摘 要： | 采用耦合模(COM)理论对声表面波(SAW)谐振器进行数字模拟,并采用梅森(Mason)正交场模型对陀螺仪和传感器进行模拟设计,最后对SAW谐振器和SAW传感器进行实验评价.这种陀螺仪具有额外的能力,可以作为无线陀螺仪和集成在SAW加速度传感器上. |
| 关 键 词： | 微机电系统 声表面波 陀螺仪 SAW谐振器 SAW传感器 |
Research on MEMS-SAW gyroscope |
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| LI Quan-xi,YIN Bing. Research on MEMS-SAW gyroscope[J]. Transducer and Microsystem Technology, 2010, 29(11) | |
| Authors: | LI Quan-xi YIN Bing |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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