氦质谱检漏仪性能诸元关系的研究 |
| |
引用本文: | 罗世敏.氦质谱检漏仪性能诸元关系的研究[J].真空科学与技术学报,1990(3). |
| |
作者姓名: | 罗世敏 |
| |
作者单位: | 国光电子管总厂电子产品研究所 |
| |
摘 要: | 本文根据顺流式氦质谱检漏仪和逆流式氦质谱检漏仪真空系统的结构配置特点,分别推导出这两类检漏灵敏度、最高入口工作压强、抽气时间、最小可检漏率、最大可检漏率、响应时间和清除时间等特性的普适性计算公式。这些公式能够解释有关的实验结果,有助于分子泵逆流检漏仪的研制开发。
|
本文献已被 CNKI 等数据库收录! |
|