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| 气体快速注入实验 | |
| 引用本文： | 王玉贵,傅积闿,罗兰昌,辜学茂,李成富,程珊华.气体快速注入实验[J].真空科学与技术学报,1984(1). |
| 作者姓名： | 王玉贵 傅积闿 罗兰昌 辜学茂 李成富 程珊华 |
| 作者单位： | 中国科学院合肥等离子体物理研究所，中国科学院合肥等离子体物理研究所，中国科学院合肥等离子体物理研究所，中国科学院合肥等离子体物理研究所，中国科学院合肥等离子体物理研究所，中国科学院合肥等离子体物理研究所 |
| 摘 要： | 本文描述通过快速电磁阀门将气体注入到真空系统的实验。计算分析了气体进入系统时的流动状态。测定了B-A裸规和压电晶体阀门的响应特性。使用一简单供电电路,其脉宽为320微秒,就能使压电晶体阀门完成一次注气动作。 |
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