| 低温生长SiO2钝化膜在太阳电池上的应用 |
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| 引用本文： | 胡宇,孟凡英,董经兵,江民林,余跃波,杨乐,王栩生,王景霄,崔容强.低温生长SiO2钝化膜在太阳电池上的应用[J].太阳能学报,2009,30(8). |
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| 作者姓名： | 胡宇 孟凡英 董经兵 江民林 余跃波 杨乐 王栩生 王景霄 崔容强 |
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| 作者单位： | 1. 上海交通大学物理系太阳能研究所,上海,200240
2. 江苏林洋新能源有限公司工程技术中心,江苏,226263 |
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| 摘 要： | 主要研究在晶体硅衬底上采用干氧氧化法生长SiO2薄膜,通过改变非晶SiO2薄膜的生长温度、时间以及气体流量等参数优化工艺条件,增强对硅片的钝化作用,提高光生少数载流子寿命.实验发现在840℃下生长的非晶SiO2薄膜对硅片钝化效果最佳,可将硅片少子寿命提高约90%.此外,为优化SiO2/SiNx双层膜的减反射作用,采用Matlab程序计算SiO2/SiNx双层膜的反射谱,从理论上获得最优的膜系组合.实验发现生长有SiO2钝化膜的SiO2/SiNx双层膜太阳电池相对单层SiNx膜太阳电池,短路电流和开路电压分别提高了0.2A和8mV,转换效率提高约9%.
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| 关 键 词： | 干氧氧化 钝化 双层膜 太阳电池 |
SIO2 PASSIVATION FILM GROWN AT LOW TEMPERATURE AND ITS APPLICATION TO THE SOLAR CELL |
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| Hu Yu,Meng Fanying,Dong Jingbing,Jiang Minlin,Yu Yuebo,Yang Le,Wang Xusheng,Wang Jinxiao,Cui Rongqiang.SIO2 PASSIVATION FILM GROWN AT LOW TEMPERATURE AND ITS APPLICATION TO THE SOLAR CELL[J].Acta Energiae Solaris Sinica,2009,30(8). |
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| Authors: | Hu Yu Meng Fanying Dong Jingbing Jiang Minlin Yu Yuebo Yang Le Wang Xusheng Wang Jinxiao Cui Rongqiang |
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