| 基于不同衬底的TCO薄膜的激光刻蚀工艺研究 |
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| 引用本文： | 张耿,陈镕佳,黄晓园,张绍强,郑华,叶海,王红成.基于不同衬底的TCO薄膜的激光刻蚀工艺研究[J].材料研究与应用,2022,16(3):384-388. |
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| 作者姓名： | 张耿 陈镕佳 黄晓园 张绍强 郑华 叶海 王红成 |
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| 作者单位： | 东莞理工学院电子工程与智能化学院，广东 东莞 523808 |
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| 基金项目： | 广东省普通高校重点科研平台和项目（2020ZDZX3075）；东莞市重点领域研发项目（20201200300102）；东莞市科技特派员项目（20201800500302）；校级质量工程项目（201802021，2018020110，201902078） |
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| 摘 要： | 为了探索对基于不同衬底的透明导电薄膜的图形化制作，研究了采用激光刻蚀基于玻璃和柔性PET衬底的ITO和FTO等TCO薄膜材料的优化工艺，考察了激光设备在不同工作功率和扫描速率下工作对刻蚀效果的影响。结果表明，玻璃基薄膜可采用2.3 W的刻蚀功率和500 mm/s的扫描速率进行刻蚀，柔性PET基薄膜可采用1.2 W的刻蚀功率和500 mm/s的扫描速率进行刻蚀；扫描速率越慢、激光功率越高，对薄膜的刻蚀速率就会越快；激光功率过高会导致柔性PET衬底发生高温热熔化而凸起形变，因此刻蚀时应适当降低刻蚀功率。综合而言，采用激光刻蚀法可高效率、高品质地实现对不同衬底上薄膜的图形化制作。
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| 关 键 词： | 激光打标 刻蚀 TCO薄膜 导电电极 |
| 收稿时间： | 2022/4/17 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2022/6/3 0:00:00 |
Study on Laser Etching of TCO Thin-Films on Different Substrates |
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| ZHANG Geng,CHEN Rongji,HUANG Xiaoyuan,ZHANG Shaoqiang,ZHENG Hu,YE Hai,WANG Hongcheng.Study on Laser Etching of TCO Thin-Films on Different Substrates[J].Journal of Guangdong Non-Ferrous Metals,2022,16(3):384-388. |
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| Authors: | ZHANG Geng CHEN Rongji HUANG Xiaoyuan ZHANG Shaoqiang ZHENG Hu YE Hai WANG Hongcheng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | laser lithography etching TCO thin film conducting electrode |
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