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| 衬底对PZT铁电薄膜显微结构的影响 | |
| 引用本文： | 闫培渝,李龙土,张孝文.衬底对PZT铁电薄膜显微结构的影响[J].材料工程,1994(Z1). |
| 作者姓名： | 闫培渝 李龙土 张孝文 |
| 作者单位： | 清华大学 |
| 摘 要： | 利用ＸＲＤ和ＳＥＭ观察了在不同衬底材料上用Ｓｏ１－Ｇｅｌ法制备的ＰＺＴ铁电陶瓷薄膜的显微结构。发现ＰＺＴ薄膜的结晶性能受衬底材料的影响极大。ＰＺＴ薄膜在金属铂片上能够很好地结晶，而在单晶硅片上则很难结晶，其在镀铂硅片上的结晶难易程度介于金属铂片与单晶硅片之间。在衬底上制备ＰＴ过渡层可以促进ＰＺＴ薄膜的结晶。 |
| 关 键 词： | PZT铁电薄膜，显微结构，衬底 |
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