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| 石英微机械惯性传感器的加工技术 | |
| 引用本文： | 谭德生,张巧云.石英微机械惯性传感器的加工技术[J].传感器世界,2002,8(10):22-24. |
| 作者姓名： | 谭德生 张巧云 |
| 作者单位： | 四川压电与声光技术研究所,重庆,400060 |
| 摘 要： | 本文讨论了石英微机械陀螺的基本结构和工作原理，叙述了用于石英加工的化学各向异性刻蚀机理，给出了石英音叉传感器的加工方法，提供了我们研制的石英微机械陀螺的试验结果。 |
| 关 键 词： | 惯性传感器 石英 微机械陀螺 各向异性刻蚀 |
| 文章编号： | 1006-883X(2002)10-0022-03 |
Machining Technique Of Micromachined Quartz-Gyro Sensor |
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