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| 新型传感器“尖兵”列阵 | |
| 摘 要： | 微型传感器 微型传感器是指采用微电子机械加工技术制作的,芯片的特征尺寸为微米级的各类传感器的总称。它是当代先进的微电子机械系统(MEMS)的重要组成部分。 目前,国外已批量生产的微型传感器有压力传感器、加速度传感器、微型陀螺等。2003年销售额将达到65亿～115亿美元,其中各类微型传感器的总销量将达到9.25亿～14.75亿只,年销售额 |
| 关 键 词： | 传感器 微型传感器 微型生物化学芯片 数字传感器 智能传感器 网络化传感器 |
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