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| 高精密伺服阀气动测量的研究 | |
| 引用本文： | 矣舒勃,卢泽生.高精密伺服阀气动测量的研究[J].计量技术,1990(11):1-3. |
| 作者姓名： | 矣舒勃 卢泽生 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学，哈尔滨工业大学，哈尔滨工业大学，哈尔滨工业大学 |
| 摘 要： | 在自动控制系统中采用的电液、气电伺服阀精度很高,测量困难。本文提出了用喷嘴盖板式气动测量方法有效地解决这一难题。用该方法制成的仪器可达到指标:(1)重复测量精度为 0.1微米;(2)仪器稳定性为0.1微米;(3)仪器测单件重复性误差为3σ=0.2微米;(4)不同时间,不同条件的重复精度为0.4微米;(5)仪器的分辨率为0.1微米。 |
| 关 键 词： | 伺服阀 气动测量 喷嘴盖板式 |
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